机译:CMOS-MEMS谐振压力传感器的特性
机译:CMOS-MEMS谐振压力传感器:通过比较分析优化和验证
机译:具有新型自动装置的压电谐振压力/力传感器灵敏度的表征
机译:用于颅内压监测的CMOS-MEMS电容传感器:传感器制造与系统设计
机译:具有用于滤波器和温度传感器应用的嵌入式加热器的CMOS-MEMS新型谐振器的设计,制造和表征。
机译:基于洛伦兹力的CMOS-MEMS磁场传感器的光学表征
机译:CmOs-mEms湿度传感器的制作和表征
机译:CmOs-mEms中的力检测核磁共振传感器